电子工业超纯水设备工艺及使用注意事项
高纯水又名超纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用最普遍的还是电子行业。
在超纯水设备的生产过程中,水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除,水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
●超纯水设备的使用
离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的,可去除水中的各种阴、阳离子,是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时,水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换,从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求,生产出达到更高标准的超纯水。
离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法,也是最经济有效的化学法之一,离子交换是一种利用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理,去除水中电解质离子的技术。是一套完整成熟的制水工艺,现广泛为广大用户认可。
再生活化原理:当设备运行一段时间,树脂失效,此时需再生,使其恢复交换能力。
注意事项:
1.操作人员应具备纯水设备基础知识,掌握操作规程。
2.本设备严禁超压负荷工作。
3.电机应定期检查。
4.长期闲置不用,应定期搅动,以免树脂发霉。
●制备工艺
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
●技术特点
1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备,其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高,但离子设备再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置,这是目前制取超纯水最经济,最环保用来制取超纯水的工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
●应用场合
1.半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
2.超纯材料和超纯化学试剂;
3.实验室和中试车间
4.汽车、家电表面抛光处理;
5.其他高科技精微产品。